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一種采用磁性薄膜制造的微型線陣RF集成電感器

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  • 更新日期:2012-05-09 15:05:47
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采用一種具有零磁致伸縮特性的磁性薄膜CoNbZr經過精細制作,與磁膜難磁化軸垂線的長度方向相垂直地和水平地構成一個導線微型線陣,經180℃范圍退火處理的樣品,具有很小的矯頑力和良好的磁導率。利用具有線寬/間距=9μm/2μm的微型線陣制成的RF電感器,顯示出具有L=7.5nH(為空氣芯的+11%),R=7.6Ω和Q=6.3(幾乎與空氣芯的R和Q值相同)。
 
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